涂層機(Spin Coater),有許多別名:膠機,涂層機,旋轉(zhuǎn)涂敷儀,有甩膠機、勻膠臺、涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,其涂層機工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
涂層機適用于半導體、化工材料、硅片、晶圓片、光學玻璃、化學玻璃等表面涂覆材質(zhì),美國Laurell高精度的旋涂儀涂層機主要應用科研院所進行科學研究,課題公關所用。
涂層機特色:
◆ 科研制備理想的涂層機旋涂儀;
◆ 涂層機由NPP或Teflon材質(zhì)構(gòu)造;
◆ 涂層機分為150毫米,200毫米和300毫米三種腔體大?。?/span>
◆ 涂層機可選擇臺式,立式和特殊環(huán)境內(nèi)置式不同外形;
◆ 涂層機的轉(zhuǎn)速可達10000RPM;
◆ 易編程的數(shù)碼控制器(400/500型控制器);
◆ 可升級成為自動滴膠型涂層機;